测量范围：X:300mm Y:200mm Z:200mm
测量精度：X,Y轴≤（3±LU200）μm
大理石台面尺寸：460mm*360mm
玻璃台面尺寸：329mm*229mm
仪器重量：200KG
外形尺寸：760mm*660mm*970mm
电源：110V(AC)-220V(AC) 50HZ 总功率50W

尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆

探测器：高性能硅漂移 SDD 探测组件
激发源：45KV/200uA-银靶端窗一体化微型X射线光管及高压源
元素检测 ：原子序数为 12～92 镁（Mg）到铀（U）之间元素
分析方法：直读分析法+基本参数法（FP）
电源：可充电锂电池，标配 6800mAh,电压：7.2V；可持续工作达12小时；
前端测试窗口 *≤9mm*5mm“腰”型窗口
测试报告发送方式：E-mail 发送、蓝牙同步传输、软件同步传输

光学系统：帕型-龙格光学结构，真空罗兰圆光栅分光室
电子系统：光谱仪光学室的真空测量电路
采用ARM芯片高速 usb 多通道同步数据采集， 16*100k 同步采样
16通道高精度CCD、东芝TCD1304 ,像素 3648、总像素：58368高分辨率全谱采集
激发光源：全频数字激发光源：激发频率 100-1000Hz
气路：流量计压力调节：输入压力， 0.25MPa
真空度：真空控制小于2pa